特許

J-GLOBAL ID：200903013854854550

負圧制御弁及び圧力制御方法

発明者： 星野 幸雄
出願人/特許権者： 星野 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-222284
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004154
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】負圧制御での1つのエジェクタ及び1つの真空ポンプ等を利用して、複数のパッドに個々の作業をさせた時、1パッドに真空破壊が発生しても、他のパッドに影響を与えず、個々の作業を安全・確実に出来るようにした負圧制御弁及び圧力制御方法を提供する。【解決手段】負圧制御弁は、通路・弁・バネ・本体・バイパス・弁室からなり、通路1と弁室6の圧力差を利用して弁の開閉を行う。吸着パッド10にワークが無い時は、弁室6と通路1の圧力差によって弁は本体に付き、真空破壊をおこさず、他の吸着パッド10へ影響を与えない。パッドにワークが有る時は、バイパス7より少量の吸引をしているので、弁室と通路の圧力差が無くなりバネ3により弁が開かれて、大口径の通路より吸引が発生して、ワークを敏速に強固に吸着する事が出来る。

請求項（抜粋）：

通路・弁・バネ・本体・バイパス・弁室からなる負圧制御弁及び圧力制御方法。

IPC (3件)：

F16K 17/04 ,  F16K 31/122 ,  G05D 16/00

FI (3件)：

F16K 17/04 ,  F16K 31/122 ,  G05D 16/00 J

Fターム (31件)：

3H056AA01 ,  3H056BB45 ,  3H056CA02 ,  3H056CB02 ,  3H056CD08 ,  3H056DD02 ,  3H056DD03 ,  3H056GG02 ,  3H056GG12 ,  3H056GG14 ,  3H059AA05 ,  3H059BB35 ,  3H059CC08 ,  3H059CD05 ,  3H059FF04 ,  3H059FF11 ,  5H316BB02 ,  5H316DD11 ,  5H316DD13 ,  5H316EE02 ,  5H316EE10 ,  5H316EE12 ,  5H316EE13 ,  5H316EE20 ,  5H316ES02 ,  5H316GG11 ,  5H316GG12 ,  5H316GG15 ,  5H316JJ01 ,  5H316JJ11 ,  5H316KK02