特許
J-GLOBAL ID：200903013858070139
水晶振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003361
公開番号（公開出願番号）：特開平7-212161
出願日： 1994年01月18日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【構成】 水晶基板1にマスク材13を形成し、マスク材を水晶振動子の外形形状に第1のポジレジスト21でパターニングする工程と、マスク材上に周波数調整用金属膜9パターンを第2のポジレジスト23で形成する工程と、露出した水晶基板をエッチングし水晶振動子形状に加工する工程と、第2のポジレジストをマスクにマスク材をエッチングし第2のポジレジストを除去する工程と、露出したマスク材に周波数調整用金属膜を形成する工程と、金属マスク27を用い水晶基板の平面電極膜5と側面電極膜3を形成する工程とを有する。【効果】 レジスト形成処理と露光処理の削減により製造工程を短縮できる。その結果、製造環境が改善する。さらに、電鋳法を用いた金属マスクを用いることで微細な電極パターンが容易に得られ、電極膜への有機物付着防止し水晶振動子の発振周波数の経時変化が少なくなる。
請求項（抜粋）：
水晶基板にマスク材を形成し、マスク材を第1のポジレジストで水晶振動子の外形形状にパターンニングする工程と、マスク材上に発振周波数調整用金属膜パターンを第2のポジレジストにて形成する工程と、露出した水晶基板をエッチングし水晶振動子形状に加工する工程と、第2のポジレジストをマスクにマスク材をエッチングし第2のポジレジストを除去する工程と、露出したマスク材に周波数調整用金属膜を形成する工程と、金属マスクを用い水晶基板に平面電極膜と側面電極膜を形成する工程とを有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2件)：
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