特許

J-GLOBAL ID：200903013862573820

被吸着体脱離方法、静電チャック、及びプラズマ処理装置

発明者： 八島 伸二
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195653
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040660
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 静電チャックの電荷を中和コンデンサで中和することにより、静電チャックに吸着された被吸着体を速やかに脱離させる。【解決手段】 サセプタ15と同じ静電容量をもつ中和コンデンサC2 を設ける。サセプタ15への被処理基板14の吸着時、直流電源16により静電チャック22の等価コンデンサC1 に充電するとともに、中和コンデンサC2 にも充電する。被処理基板14の脱離時、直流電源16を切り離すとともに、中和コンデンサC2 を逆極性にしてサセプタ15に直列接続する。これにより直列接続された両コンデンサC1 、C2 は両端をアースを介してショートされて、サセプタ15及び被処理基板14に蓄積した電荷が中和コンデンサC2 に蓄積した電荷で急速に中和され、被処理基板14は短時間で脱離する。

請求項（抜粋）：

サセプタに静電吸着された被吸着体を離脱する時に、逆極性の中和コンデンサを介してサセプタと被吸着体間に蓄積された電荷を中和するようにした被吸着体離脱法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D