特許

J-GLOBAL ID：200903013863763770

露光装置の制御方法及び露光システム

発明者： 天野 利孝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-313036
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124094
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】露光装置を補正するための計測の際の条件を適切かつ迅速に自動で決定する。【解決手段】補正項目決定部160は、装置情報記憶部110に記憶された露光に関する情報に基づいて露光装置100の補正項目を決定する。計測条件決定部120は、装置情報記憶部110に記憶された露光に関する情報に基づいて当該補正項目について露光装置を補正するための計測を行う際の計測条件を決定する。補正計測部130は、決定された計測条件に従って計測を行う。

請求項（抜粋）：

露光装置の制御方法であって、露光に関する記憶された情報に基づいて前記露光装置の補正項目を決定する補正項目決定工程と、決定された補正項目について前記露光装置を補正するための計測を行う際の計測条件を決定する計測条件決定工程と、決定された計測条件に従って計測を行う計測工程と、前記決定された補正項目について、前記計測工程による計測結果に基づいて前記露光装置を補正する補正工程と、を含むことを特徴とする露光装置の制御方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/02

FI (3件)：

G01B 11/00 C ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (30件)：

2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065EE05 ,  2F065EE08 ,  2F065FF41 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL05 ,  2F065LL12 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  5F046AA17 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046DB11 ,  5F046DB14