特許

J-GLOBAL ID：200903013864926436

多孔質膜、その製造法及び物品

発明者： 成田 武憲 ,  森嶋 浩之 ,  山本 靖浩 ,  野部 茂 ,  榎本 和宏 ,  横塚 俊亮 ,  松倉 郁生
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-023140
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217458
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜の製造法、低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜、低誘電率の多孔質膜、及び低誘電率で耐吸湿性に優れ、機械的特性にも優れる多孔質膜を有し、そのために信頼性の高い半導体素子等の物品を提供する。【解決手段】 アルコキシシランの部分加水分解縮合物と樹脂からなる均一に相溶した複合材の膜を、その樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理することを特徴とする多孔質膜の製造法、この多孔質膜の製造法により得られる多孔質膜、誘電率が2.0以下の多孔質膜及びこの多孔質膜を有する物品。

請求項（抜粋）：

アルコキシシランの部分加水分解縮合物と樹脂からなる均一に相溶した複合材の膜を、その樹脂の熱分解開始温度以上の温度で熱処理することを特徴とする多孔質膜の製造法。

IPC (4件)：

C08J 9/26 102 ,  C08J 7/00 301 ,  C08L 83/04 ,  C08L101/04

FI (4件)：

C08J 9/26 102 ,  C08J 7/00 301 ,  C08L 83/04 ,  C08L101/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 製膜溶液及びそれから得られる多孔質フィルム又は多孔質フィルムの被覆物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-037825   出願人：ユニチカ株式会社
• 有機-無機複合体および無機多孔質体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-189731   出願人：旭化成工業株式会社