特許

J-GLOBAL ID：200903013879613060

マルチスパイラル原盤の製造方法

発明者： 森田 成二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158474
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031018
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】光学系の調整が簡単で、しかも装置のコストを低く抑えてマルチスパイラル原盤を製造する方法を提供する。【構成】レーザービームをウォブリングさせて、マルチスパイラル原盤を製造する。

請求項（抜粋）：

1個のレーザービーム露光する際、前記ビームをウォブリングさせることで同時に複数のトラッキングガイドを形成することを特徴とするマルチスパイラル原盤の製造方法。