特許
J-GLOBAL ID：200903013880352482
原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡における試料観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303518
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134023
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 一方向の摩擦力計測や、特定の方向に変形しやすい内部構造を映像化したり、粘弾性的挙動を評価することができる原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡における試料観察方法を提供すること。【構成】 原子間力顕微鏡1において、試料8と探針4に相対的な縦方向振動及び相対的な横方向振動を重畳させて作用させる振動装置を備える。試料8と探針4に相対的な縦方向振動及び横方向振動を重畳させて作用させ、探針4と試料8に相対運動の軌跡が直線または環状である振動を発生させるか、または探針4を試料8に押込んだ状態で横方向に相対運動する振動を発生させ、探針4の応答を観察し、試料8の特定方向の摩擦係数、傾斜、試料8の特定方向の弾性率、内部欠陥、異物、構造体の映像化を行う。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡において、試料と探針に相対的な縦方向振動及び相対的な横方向振動を重畳させて作用させる振動装置を備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
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