特許
J-GLOBAL ID：200903013880569481
マイクロポンプ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243592
公開番号（公開出願番号）：特開平6-093972
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 シリコン基板をガラス基板でサンドイッチした構造を有するマイクロポンプにおいて、陽極接合での入力、出力用貫通穴回りへのコンタミの付着を防止し、長期安定駆動を可能にする。【構成】 マイクロポンプの入力用、及び出力用貫通穴を有するガラス基板の外部に面する側の貫通穴周囲に段差を設け凹形状とする。または、陽極接合工程において、ガラス基板に接する電極のガラス基板の入力用、及び出力用貫通穴と対向する位置に該貫通穴よりも大きい径の凹状部分を形成したガラス側電極を用いて陽極接合する。【効果】 陽極接合時にガラス基板の貫通穴の周辺部が接合用電極に直接接触する事を防ぎ、負高電圧によるガラス内部からのナトリウム等アルカリ金属イオンの析出による炭酸ナトリウム等塩類のガラス表面への付着をなくす事が出来る。
請求項（抜粋）：
ダイアフラム、流路及びバルブ部を形成したシリコン基板をガラス基板でサンドイッチした構造を有するマイクロポンプにおいて、入力用、及び出力用貫通穴を有するガラス基板の外部に面する側の該貫通穴周囲に段差を設け、凹形状とした事を特徴とするマイクロポンプ。
IPC (2件)：
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