特許

J-GLOBAL ID：200903013889361123

アルミナ前駆体溶液、当該溶液を用いたアルミナ薄膜の形成方法及びアルミナ薄膜形成体

発明者： 荻原 隆 ,  小川 賢治 ,  永田 憲史 ,  井口 真仁 ,  渡辺 雅幸
出願人/特許権者： 秩父小野田株式会社 ,  荻原 隆
代理人 (1件)： 有賀 三幸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-007158
公開番号（公開出願番号）：特開平7-216552
出願日： 1994年01月26日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：

【要約】【構成】 (A)アルミニウムアルコキシドと水とβ-ケト酸化合物又はグリコールエーテル化合物との反応物、(B)増粘剤、並びに(C)カップリング剤を含有するアルミナ前駆体溶液、これを用いたアルミナ薄膜の形成方法、並びにこれにより得られたアルミナ薄膜形成体。【効果】 本発明のアルミナ前駆体溶液を用いれば、あらゆる基材に対しても密着強度が高く、緻密で表面が平滑で、かつ経時的に安定なアルミナ薄膜を効率良く形成させることができる。

請求項（抜粋）：

(A)アルミニウムアルコキシドと水とβ-ケト酸化合物又はグリコールエーテル化合物との反応物、(B)増粘剤、並びに(C)カップリング剤を含有するアルミナ前駆体溶液。

IPC (4件)：

C23C 18/12 ,  B28B 1/30 101 ,  C01F 7/30 ,  C03C 17/25