特許
J-GLOBAL ID：200903013892831092
サーマルプリントヘッドおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341550
公開番号（公開出願番号）：特開平5-169700
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】薄膜型サーマルプリントヘッドにおける発熱部を保護するための保護膜を、下地層に対する密着性と、表面の耐磨耗性とを、従来に比して一段と向上させたサーマルプリントヘッドおよびその製法を提供することを目的とする。【構成】 本願発明のサーマルプリントヘッドの保護膜は、シリコン酸化物膜からなる第一層と、シリコン酸化物とサイアロンとの混成膜からなる第二層と、サイアロン膜からなる第三層と、第三層より窒素添加量の多いサイアロン膜からなる第四層とを順次同一成膜装置内で成膜させて構成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
セラミック基板上にグレーズ畜熱層、発熱抵抗体層および上記抵抗体層の所定部位を発熱させるべくこれに電力を供給する導体層が形成され、かつ、上記発熱抵抗体層および導体層を保護膜で覆って形成されるサーマルプリントヘッドであって、上記保護膜は、下層から順に、シリコン酸化物膜からなる第一層、シリコン酸化物とサイアロンとの混成膜からなる第二層、サイアロン膜からなる第三層、および、第三層よりも窒素添加量の多いサイアロン膜からなる第四層、を含んでいることを特徴とする、サーマルプリントヘッド。
FI (2件)：
B41J 3/20 111 F
, B41J 3/20 111 H
