特許

J-GLOBAL ID：200903013903526580

ウエハ自動研削装置

発明者： 片山 元
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 米原 正章 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-275222
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130691
出願日： 1993年11月04日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 ウエハの研削、研摩、洗浄工程を自動化して無人化運転を可能にする。【構成】 必要な基数の研削機3,4と研摩機5及び洗浄機6をロボット1の周辺に配置し、かつ各工程で加工するウエハ2の搬送を上記ロボット1で搬送するようにしたもので、ウエハ2の研削、研摩、洗浄が自動化できるため、量産ラインの無人化運転が可能になる。

請求項（抜粋）：

必要な基数の研削機3,4と研摩機5及び洗浄機6をロボット1の周辺に配置し、かつ各工程で加工するウエハ2の搬送を上記ロボット1で行うことを特徴とするウエハ自動研削装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 331 ,  H01L 21/304 321 ,  B24B 41/06 ,  B24B 51/00