特許
J-GLOBAL ID：200903013906157900
振動型角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-334336
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170275
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 接着剤などを介すことなく簡単な構成で精度よく角速度を検出する。【解決手段】 X方向に励振されるマス部10のY方向の側方に所定の周波数でその端部55が励振されるビーム振動体51及び52を設ける。このビーム振動体51及び52は、マス部10からY方向に延びる第2ビーム32によりマス部10に連結されている。Z方向回りに角速度が発生した場合に、コリオリ力によってマス部10がY方向に振動(変位)すると、マス部10のY方向への変位が第2ビーム32により各ビーム振動体51及び52に伝達され、ビームの間隙(形状剛性)がマス部のY方向への変位量に応じて変化する。このビーム間隙の変化によりビーム振動体51及び52の端部を励振する振動モードの共振周波数が変化するため、Z方向回りの角速度をビーム振動体の共振周波数の変化に基づいて検出する。
請求項（抜粋）：
慣性質量となるマス部を励振させ、このマス部の励振方向Xと角速度センサの回転軸方向Zとの両方向に直交する方向Yに発生するコリオリ力によるマス部の変位に基づいて角速度を検出する振動型角速度センサであって、前記マス部を励振させるマス部励振手段と、前記マス部と独立して振動可能に前記マス部のY方向の側方に配置され、複数のビーム体が、少なくとも一部においてY方向にそれぞれが所定の間隔を隔てるように互いに連結されて構成されたビーム振動体と、前記ビーム振動体を振動させるためのビーム振動体励振手段と、前記マス部と前記ビーム振動体とを連結して、前記マス部のY方向への変位を前記ビーム振動体に伝達して前記ビーム体間の間隔を変化させるための接続ビームと、前記ビーム振動体の振動の変化を検出するビーム振動体変化検出手段と、を有し、回転軸方向Zにおける角速度を、前記ビーム振動体の間隔変化に起因した前記ビーム振動体の振動変化に基づいて検出することを特徴とする振動型角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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