特許

J-GLOBAL ID：200903013909486300

多層膜反射鏡、多層膜の剥離方法及び露光装置

発明者： 石山 若菜
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104436
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303695
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】 基板表面にダメージを与えることなく多層膜を剥離できる多層膜反射鏡、多層膜の剥離方法及び露光装置を提供する。【解決手段】 本発明に係る多層膜の剥離方法は、基板41と、この基板上に形成された、化学的に安定な物質からなる電極層42と、この電極層上に形成され、該電極層よりも酸化還元電位が低い物質からなる溶解層43と、この溶解層上に形成され、軟X線領域における屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質の第1層と大きい物質の第2層とが交互に積層された多層膜44と、を備えた多層膜反射鏡40を準備し、この多層膜反射鏡を電解溶液槽内に浸漬し、別途準備した電極基板を電解溶液槽内に浸漬し、前記電極基板にマイナス電圧を印加すると共に前記電極層にプラス電圧を印加して前記溶解層を電気分解法によって除去することにより、前記多層膜を基板及び電極層から剥離するものである。

請求項（抜粋）：

基板と、この基板上に形成された、化学的に安定な物質からなる電極層と、この電極層上に形成され、該電極層よりも酸化還元電位が低い物質からなる溶解層と、この溶解層上に形成され、軟X線領域における屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質の第1層と大きい物質の第2層とが交互に積層された多層膜と、を具備することを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (4件)：

G21K 1/06 ,  G02B 5/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G21K 1/06 D ,  G02B 5/08 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (9件)：

2H042DA12 ,  2H042DA14 ,  2H042DD10 ,  2H042DE04 ,  5F046GA03 ,  5F046GA06 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03 ,  5F046GD10