特許
J-GLOBAL ID：200903013912446514
真空容器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059525
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226321
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【構成】内壁を形成する第1の板材22と、内部に熱媒体を流すことによりこの第1の板材の内面側の温度を制御するための配管24と、第1の板材22の外面の内の配管24が施されていない領域に敷き詰められたハニカム材26と、外壁を構成する第2の板材28とにより、真空容器を構成する。【効果】真空容器と配管24との間には第1の板材22が存在するのみなので、温度制御の効率を向上させることができる。ハニカム材26を用いたことにより、真空容器の軽量化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
内壁を形成する第1の板材と、この第1の板材の外面上に配設された、内部に熱媒体を流すことによりこの第1の板材の内面側の温度を制御するための配管と、前記第1の板材の外面の、前記配管が施されていない領域に敷き詰められたハニカム材と、前記配管および前記ハニカム材を覆う、外壁を形成する第2の板材と、を有することを特徴とする真空容器。
IPC (3件)：
H01L 21/31
, F27B 5/06
, H01L 21/22
