特許
J-GLOBAL ID：200903013912737322
顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148478
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338408
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 電子線の照射によって放射される電子を、多面的かつ効率よく検出できる顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】 開孔が形成されたCCDを用いることにより、その開孔を通じて試料に電子線を照射させることができ、CCDを試料に近接して配置できる。このため、試料の表面において放射された電子を効率良く検出できる。また、放射された電子が直接にCCD感光面に入射されるため、放射電子の量のみならず電子分布も取得できる。
請求項（抜粋）：
真空中で被観察試料に照射される電子線を出力する電子線発生手段と、前記電子線発生手段と前記被観察試料との間に感光面を前記被観察試料に対向して配置され、前記電子線発生手段から出力された前記電子線が通過するための電子線通過部を有する固体撮像手段と、前記電子線発生手段と前記固体撮像手段の間に配置され、前記電子線を偏向して前記被観察試料における電子線の照射位置を変える偏向手段と、前記電子線の照射により前記被観察試料から放射される電子のうち、少なくとも二次電子が前記固体撮像手段によって検出されることによって得られる検出情報に基づいて前記被観察試料の形状を分析する分析手段と、を備えることを特徴とする顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2H052AC12
, 2H052AC13
, 2H052AC29
, 2H052AF10
, 2H052AF11
, 2H052AF14
, 2H052AF25
