特許
J-GLOBAL ID：200903013915735436
誘電体バリヤ放電ランプとそれを使用した処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146687
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338299
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 光出力が安定で、放射輝度の高い誘電体バリヤ放電ランプを提供することであり、さらに、該誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法を提供することである。【構成】 放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体バリヤ放電の放電路に平行して設けられた光取りだし窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該光取りだし窓部材の放電路に平行な長さHが該誘電体バリヤ放電の放電路長Lを越えるように構成する。
請求項（抜粋）：
放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体バリヤ放電の放電路に平行して設けられた光取りだし窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該光取りだし窓部材の放電路に平行な長さHが該誘電体バリヤ放電の放電路長Lを越える事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。
IPC (3件)：
H01J 65/04
, G21K 5/00
, C08J 7/00 304
