特許

J-GLOBAL ID：200903013917286787

ステージ装置

発明者： 宮島 義一 ,  佐々木 康人 ,  佐藤 仁至
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-127774
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335631
出願日： 2003年05月06日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】温調エアーのゆらぎによる位置計測精度の劣化を防止し、ステージ位置決め精度の向上を図る。【解決手段】ステージ定盤5Dの定盤面上で移動するスライダ5Cの位置を計測するための干渉計をスライダ側に搭載し、反射ミラー9,10を定盤側に固定したステージ装置において、反射ミラーの下面と定盤面との間に、反射ミラーの背面側空間から反射面側空間へ温調エアーを通過させるための空隙孔9C,10Cを設ける。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基準面を有する定盤と、該基準面上で移動する移動体と、反射ミラーの反射面の位置までの距離により該移動体の位置を計測する位置計測用干渉計とを有し、前記位置計測用干渉計は前記移動体に搭載され、前記反射ミラーは前記定盤に一体的に取り付けられたステージ装置において、 前記反射ミラーの下面と前記基準面との間に該反射ミラーの背面側空間から反射面側空間へ連通する開口が設けられていることを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  H01L21/68

FI (3件)：

H01L21/30 503A ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 516E

Fターム (19件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA08 ,  5F031PA11 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC08 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17