特許

J-GLOBAL ID：200903013920895662

走査形電子顕微鏡

発明者： 佐藤 貢 ,  保谷 隆司 ,  小瀬 洋一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-284082
公開番号（公開出願番号）：特開2003-115275
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【目的】 試料を高角度に傾斜した場合にも、高効率な二次電子検出を行って高分解能観察を行うことのできる走査電子顕微鏡を提供する。【構成】 レンズ磁界100を試料側に発生できる磁極形状の対物レンズ6の電子線通路部に1個以上の加速電極10a,10bを配置して正の電圧を印加し、加速電極のうち試料に最も接近した電極10bの外側、又は試料側に電界補正電極11を配置して負の電圧を印加する。また、加速電極のうち試料に最も接近した電極10bを磁性体で形成して磁極として機能させる。

請求項（抜粋）：

一次電子線を細く絞って試料に照射するための集束レンズ系と、該一次電子線を試料上で二次元的に走査するための電子線偏向手段と、対物レンズと、載置した試料を少なくとも水平及び傾斜方向に移動させる機構を有する試料ステージとを含む走査形電子顕微鏡において、前記対物レンズの磁極は試料側に磁場を発生させる形状を有し、該対物レンズの電子線通路部の軸方向に1個以上配置された一次電子線が通過できる軸対称な加速電極と、該加速電極に正の電圧を印加する手段と、前記加速電極のうち試料に最も接近している電極よりも外側、又は試料側に配置された一次電子線が通過できる電界補正電極と、該電界補正電極に、前記試料ステージの傾斜角が所定の大きさ以上のとき、当該所定の大きさ未満のときに比べて大きな負の電圧を印加する手段とを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/20

FI (3件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/141 A ,  H01J 37/20 D

Fターム (9件)：

5C001AA03 ,  5C001AA05 ,  5C001CC04 ,  5C033DD02 ,  5C033DD09 ,  5C033DE02 ,  5C033DE06 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 走査形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-159444   出願人：株式会社日立製作所