特許
J-GLOBAL ID:200903013922980934

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小島 清路 ,  谷口 直也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-255579
公開番号(公開出願番号):特開2004-093387
出願日: 2002年08月30日
公開日(公表日): 2004年03月25日
要約:
【課題】外部回路と接続するためのコンタクト部の数及びコンタクトパッドの数を減らすことができるガスセンサを提供する。【解決手段】本発明のガスセンサは、空間部21を有する基板2と基板2の全面に形成された絶縁層3と絶縁層3表面に形成された感応部4と絶縁層3の内部に形成された発熱部5とを備え、感応部4は、感応層41とそれに接する一対の電極42とを有し、発熱部5は発熱体51と各発熱体51に接続された一対の発熱体リード部52とを有し、発熱体51は感応層41と対向する部位に形成されている。また、上記一対の発熱体リード部52うちの一方の発熱体リード部521はお互いに電気的に接続するように形成されている。更に、発熱体リード部521と一方の電極リード部61とを導通部91で接続しても良い。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
空間部を有する基板と、 上記空間部によって上記基板表面に形成された開口部を覆うと共に上記基板により支持された絶縁層と、 上記空間部上に位置する上記絶縁層内部に形成された発熱部であって、発熱体と、該発熱体に給電するための一対の発熱体リード部と、からなる発熱部と、 上記発熱部上に形成された感応部であって、感応層と、該感応層と接する電極と、該電極と電気的に接続される一対の電極リード部と、からなる感応部と、 を備えるガスセンサにおいて、 上記一対の電極リード部のうちの一方の電極リード部と、上記一対の発熱体リード部のうちの一方の発熱体リード部とが電気的に接続されていることを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件):
G01N27/12
FI (1件):
G01N27/12 B
Fターム (33件):
2G046AA04 ,  2G046AA05 ,  2G046AA08 ,  2G046AA10 ,  2G046AA11 ,  2G046AA13 ,  2G046AA19 ,  2G046AA22 ,  2G046AA23 ,  2G046AA24 ,  2G046AA25 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB08 ,  2G046BC05 ,  2G046BE03 ,  2G046DB05 ,  2G046DC14 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA11 ,  2G046FB02 ,  2G046FE00 ,  2G046FE03 ,  2G046FE10 ,  2G046FE15 ,  2G046FE25 ,  2G046FE29 ,  2G046FE31 ,  2G046FE39 ,  2G046FE44 ,  2G046FE46

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