特許
J-GLOBAL ID:200903013923765344
表面形状測定
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
北澤 一浩
, 小泉 伸
, 市川 朗子
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-579742
公開番号(公開出願番号):特表2004-523769
出願日: 2002年04月04日
公開日(公表日): 2004年08月05日
要約:
イメージングシステムは、描画する物体に対して光源出力を走査し、反射信号を多領域光検出器にて受光する。描画する物体の様々な領域が受光光学系によって検出器の様々な領域上に描画される。光検出器の異なる領域は、個別に動作できる。光源の走査は、光検出器の動作と同期しているので、光源によって照射されている物体の領域を描画する検出器の領域が動作する。光源から検出器の動作部までの光信号の移動時間が、全ての走査方向に対して計算され、物体の3次元画像が構成される。【選択図】図4
請求項(抜粋):
光源と、
被測定物体に対して前記光源からの光を走査するための走査手段と、
前記被測定物体から反射される光を受光するための固定の受光光学系と、
前記受光光学系から入力される光を検出するための多領域光検出器であって、前記被測定物体の複数の領域が前記受光光学系によって前記検出器の複数の領域に投影され、前記光検出器の複数の領域は個別に動作することができる、多領域光検出器と、
前記光源の走査および前記光検出器の動作を同期させて前記光源によって照射されている前記物体の領域を投影する前記検出器の領域を動作させるための制御手段と、
前記光源から前記検出器の前記動作部までの光信号の移動時間を全ての走査方向について測定するための処理手段と
を備えるイメージングシステム。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B11/26 H
, G06T1/00 400M
Fターム (28件):
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF31
, 2F065GG04
, 2F065GG06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL13
, 2F065MM16
, 2F065QQ03
, 2F065QQ13
, 2F065QQ25
, 2F065UU01
, 2F065UU06
, 5B047AA07
, 5B047BA02
, 5B047BB04
, 5B047BC05
, 5B047BC09
, 5B047BC11
, 5B047BC23
, 5B047CA04
, 5B047CA17
, 5B047CA19
, 5B047CB17
引用特許:
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