特許
J-GLOBAL ID：200903013924428210
放電プラズマ処理装置及びそれを用いた処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206530
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022898
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 放電プラズマ処理装置で用いる鉄系金属の電極等を剛性や耐熱性を維持し、かつ放電特性を維持して軽量化した放電プラズマ処理装置の提供。【解決手段】 対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該電極間に電界を印加することにより、放電プラズマを発生させる放電プラズマ処理装置であって、電極用材料として鉄系金属を軽質化した材料を用いることを特徴とする放電プラズマ処理装置。
請求項（抜粋）：
対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該電極間に電界を印加することにより、放電プラズマを発生させる放電プラズマ処理装置であって、電極用材料として鉄系金属を軽質化した材料を用いることを特徴とする放電プラズマ処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
4K030FA03
, 4K030JA11
, 4K030JA14
, 4K030KA30
, 4K030KA46
