特許

J-GLOBAL ID：200903013925734900

表面欠陥検査装置,表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査用のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 山華 義博 ,  久保田 整 ,  小野 勝一
出願人/特許権者： スズキ株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100446
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281581
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 簡易な構造で高精度で被検査面の欠陥を検査できる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法、更に表面欠陥検査用のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供すること。【解決手段】 被検査面に所定の検査光を照射する照明手段と、被検査面を撮像する撮像手段と、この撮像手段で得られた画像に基づいて被検査面の欠陥を抽出する画像処理手段とを備える。そして、照明手段を、検査光を照射する光源と、この光源の照明状態を変化させる照明制御部とにより構成し、画像処理手段は、相互に異なる照明状態での画像を比較して欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

被検査面に所定の検査光を照射する照明手段と、前記被検査面を撮像する撮像手段と、この撮像手段で得られた画像に基づいて被検査面の欠陥を抽出する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段は、相互に異なる照明状態での画像を比較して前記欠陥を検出するものであり、前記照明手段を、前記検査光を照射する光源と、この光源の照明状態を変化させる照明制御部とにより構成したことを特徴とした表面欠陥検査装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 疵検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-124190   出願人：新日本製鐵株式会社
• 被検査面の欠陥検査方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-025090   出願人：日産自動車株式会社
• 特開平4-134255
  
• 特開平4-184243