特許
J-GLOBAL ID：200903013930823287
基板検査装置および基板検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 栄男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298337
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133090
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 両端部がファインピッチのパッド部を有する基板を検査する。【解決手段】 コンピュータ44は、スイッチSW11a、スイッチSW21をONとする。これにより、アンプ81からの出力電圧Vxは、ピークホールド回路76により、その最大値が検出され保持される。プリントパターン34cが上記第1区間で断線していれば、プリントパターン34cに関するアンプ81からの出力電圧Vxは、極めて小さい値となる。これにより、断線しているか否かを容易に判定することができる。同様に、スイッチSW11a、スイッチSW23をONとして、下部電極64aの下方の部分からハッド36cまでの区間の導通状態を判定することができる。
請求項（抜粋）：
隣接する検査対象配線の一端部が高密度で配置された一端部配置領域を有する被検査基板の検査を行なう基板検査装置であって、前記一端部配置領域の各端部と非接触結合される第1の信号検出用端子、第1の検査対象配線について、その一端部および他端部を除いた配線部分と非接触結合される試験信号供給用端子、前記試験信号供給用端子から、前記第1の検査対象配線に試験信号を供給する試験信号供給手段、前記第1の信号検出用端子から検出される検出信号に基づいて、前記第1の検査対象配線の導通判定を行なう判定手段、を備えたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
