特許
J-GLOBAL ID：200903013933501990
走査型電子顕微鏡およびその対物レンズ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186577
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036723
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【構成】対物レンズの下面に試料1を配置して観察や計測する走査型電子顕微鏡およびその類似装置の対物レンズの下面を、球面あるいは回転楕円体面を基本とした形状で構成した。【効果】大型の試料を任意の角度に傾斜してもワーキングディスタンスを短くできるので、高分解能観察ができる。
請求項（抜粋）：
対物レンズの下面に試料を配置して観察する走査型電子顕微鏡およびその類似装置において、前記対物レンズの下面を球面を基本とした形状で構成したことを特徴とする対物レンズ。
IPC (2件)：
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