平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119116
公開番号（公開出願番号）：特開平6-304859
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【目的】ワーク外周面に強化用繊維による掻き傷が付かない繊維強化プラスチック製のキャリヤを得ること。【構成】繊維強化プラスチック製キャリヤ10のワーク12と当接する中層部14に、強化用繊維としてポリエステル繊維等の柔軟性ある繊維を配設し、外層部13にガラス繊維等の剛性繊維を配設した。

請求項（抜粋）：

ワークを研磨加工する平面研磨装置においてワークの保持に使用されるキャリヤであって、強化用繊維をプラスチックで固めた繊維強化プラスチックにより形成され、少なくとも中層部に、強化用繊維としてポリエステル繊維等の柔軟性ある繊維が配設されていることを特徴とする平面研磨装置用キャリヤ。

IPC (6件)：

B24B 37/04 , B29C 43/18 , B32B 27/04 , B32B 31/20 , B29K105:06 , B29L 31:00

引用特許：

審査官引用 (2件)

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