特許
J-GLOBAL ID：200903013951861251
共焦点走査型光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-278003
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136815
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】簡易な構成でありながら、高分解能の観察から試料の斜面の観察等のような受光量の小さい状態での観察までを可能にすること。【構成】光源 2から出射された光を対物レンズ 7を介して試料 9に集光すると共に、試料に集光した光と試料を相対的に2次元走査し、試料からの光を光検出器12により検出して画像データを得る共焦点走査型光学顕微鏡において、前記光検出器12はその受光面上に生成された光スポットよりも小さい複数の受光領域12a〜12d を有する構成とすると共に、前記光検出器の受光領域は、中央に微少な円領域を持ち、その外周に複数の受光領域を同心円状に配置した構成とし、また、前記光検出器の各受光領域から発生する検出出力を選択的に加算して取り出すための選択手段33を備える構成とすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
光源から出射された光を対物レンズを介して試料に集光すると共に、前記試料に集光した光と試料を相対的に2次元走査し、試料からの光を光検出器により検出して画像データを得る共焦点走査型光学顕微鏡において、前記光検出器はその受光面上に生成された光スポットよりも小さい複数の受光領域で構成すると共に、また、前記光検出器の各受光領域から発生する信号を選択的に組み合わせる選択回路を設けて構成したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
IPC (4件)：
G02B 21/00
, G01N 21/17
, G02B 21/36
, G01B 11/00
