特許
J-GLOBAL ID：200903013951916528
マクロ観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-191314
公開番号（公開出願番号）：特開平11-037945
出願日： 1997年07月16日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】本発明は、基板への異物の付着を確実に防止できるとともに、精度の高いマクロ観察を実現できるマクロ観察装置を提供する。【解決手段】マクロ観察が行われる基板12が載置される基板ホルダ11に、基板12表面に対し平行方向にクリーンエア18を吹出す気体吹出し部13と、基板12を挟んで気体吹出し部13に相対向して設けられ気体吹出し部13より吹出されるクリーンエア18を吸込む気体吸込み部14を設け、これら気体吹出し部13と気体吸込み部14の間で基板12表面に対し平行方向に帯状のクリーンエア18の層を形成する。
請求項（抜粋）：
マクロ観察が行われる基板を載置する基板載置手段と、この基板載置手段に設けられ前記基板表面に対し平行方向に帯状の透明気体層を形成する気体層形成手段とを具備したことを特徴とするマクロ観察装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/84 D
, G01N 21/88 F
