被処理体の離脱方法および静電チャック装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091889
公開番号（公開出願番号）：特開平11-289004
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】生産性が高く、しかも信頼性も備わった低コストの被処理体の離脱方法及び静電チャック装置を提供すること。【解決手段】被処理体の離脱方法は、静電チャック6に被処理体1を吸着保持して被処理体1に加工を施した後に、静電チャック6と被処理体1との間に形成された隙間11に対して、水蒸気等を導入する方法である。また、静電チャック装置では、被処理体1を保持して被処理体1に加工を施すためのものであって、静電チャック6と保持された被処理体1との間に形成された隙間11に、水蒸気等が導入されるようにされている。

請求項（抜粋）：

静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコ-ル、又は水若しくはアルコ-ルを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱することを特徴とする被処理体の離脱方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H01L 21/302 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-051542
特開平4-051542
特開昭63-209136

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