特許

J-GLOBAL ID：200903013969177331

カソードルミネッセンス像観察装置における信号切り替え装置

発明者： 軽部 敏司
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-073693
公開番号（公開出願番号）：特開平11-273609
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、任意の波長に対応したカソードルミネッセンス像を、走査電子顕微鏡の操作,制御により観察をすることにある。【解決手段】波長測定機能とカソードルミネッセンス像観察機能を選択することが可能な信号切り替えユニットを用いる。

請求項（抜粋）：

走査電子顕微鏡において、試料のカソードルミネッセンス像を観察する為に、光度計の検出信号と、走査電子顕微鏡の像信号を、走査電子顕微鏡からの操作,制御により、切り替え可能とし、走査電子顕微鏡の観察モニタにカソードルミネッセンス像を表示することを特徴としたカソードルミネッセンス像観察装置における信号切り替え装置。

IPC (4件)：

H01J 37/244 ,  G01J 3/443 ,  G01N 21/62 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

H01J 37/244 ,  G01J 3/443 ,  G01N 21/62 A ,  H01J 37/28 B