感放射線性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-372985
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174891
出願日： 2000年12月07日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】解像力及び保存性が優れている感放射線性レジスト組成物、そして更にエッジラフネスが改善した感放射線性レジスト組成物を提供する。【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂(B)光酸発生剤、(C)溶剤、及び、(D)-NH-の少なくとも一方の結合手が-C(=O)-、-C(=S)-、及び-SO2-から選ばれる少なくとも1つと直接結合した構造を分子内に少なくとも1つ有する環状化合物(D1)と、下記式(1)または(2)で表される構造のうち少なくとも1種を含有する化合物(D2)との組み合わせからなる塩を含有することを特徴とする感放射線性レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂(B)光酸発生剤、(C)溶剤、及び、(D)-NH-の少なくとも一方の結合手が-C(=O)-、-C(=S)-、及び-SO2-から選ばれる少なくとも1つと直接結合した構造を分子内に少なくとも1つ有する環状化合物(D1)と、下記式(1)または(2)で表される構造のうち少なくとも1種を含有する化合物(D2)との組み合わせからなる塩を含有することを特徴とする感放射線性レジスト組成物。【化1】

IPC (7件)：

G03F 7/004 501 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08K 5/36 , C08L101/00 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/004 501 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08K 5/36 , C08L101/00 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (46件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 4J002BE041 , 4J002BG041 , 4J002BG131 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002EB109 , 4J002EC038 , 4J002ED028 , 4J002EE038 , 4J002EH028 , 4J002EN027 , 4J002EN037 , 4J002EP018 , 4J002ER029 , 4J002EU007 , 4J002EU026 , 4J002EU027 , 4J002EU036 , 4J002EU037 , 4J002EU049 , 4J002EU056 , 4J002EU096 , 4J002EU117 , 4J002EU136 , 4J002EU137 , 4J002EU139 , 4J002EU166 , 4J002EU187 , 4J002EU189 , 4J002EU219 , 4J002EU239 , 4J002EV049 , 4J002EV086 , 4J002EV316 , 4J002EV346 , 4J002GP03

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