特許

J-GLOBAL ID：200903013972286320

欠陥検出装置

発明者： 中元 茂実 ,  風間 彰 ,  松藤 泰大
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社
代理人 (1件)： 中濱 泰光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-290354
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125629
出願日： 2002年10月02日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】欠陥種類または欠陥程度の分類およびその形態の複雑さの指標を得ることが可能な欠陥検出装置を提供する。【解決手段】製品表面の欠陥を光学的に検出し欠陥の判定を行う欠陥検出装置において、画像信号のエッジ抽出又はフィルタリングを行うとともに規格化を行う画像前処理手段と、画像信号の2値化を行う手段と、2値化画像についてフラクタル次元を算出する手段と、この値を欠陥の形態の複雑さの特徴量として用いて欠陥の判定を行う手段と、を備えている欠陥検出装置。残存画素数測定手段により欠陥の形態の複雑さの特徴量として用いて欠陥の判定を行うこと、画像前処理手段はラプラシアンフィルタを用いて走査を行うフィルタリング処理手段であること、2値化前の画像について輝度のエントロピの測定手段を備えていること、あるいは得られた特徴量に最尤決定法を適用して欠陥の判定を行うこともできる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

製品表面の欠陥を光学的に検出し欠陥の判定を行う欠陥検出装置において、画像信号のエッジ抽出又はフィルタリングを行うとともに規格化を行う画像前処理手段と、前処理された画像信号に対して所定の閾値により2値化を施す2値化手段と、得られた2値化画像についてフラクタル図形としてのフラクタル次元を算出するフラクタル次元演算手段と、得られたフラクタル次元を欠陥の形態の複雑さの特徴量として用いて欠陥の判定を行う欠陥判定手段と、を備えていることを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (4件)：

G01N21/88 ,  G01N21/894 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00

FI (5件)：

G01N21/88 J ,  G01N21/894 A ,  G01N21/894 B ,  G06T1/00 300 ,  G06T7/00 300F

Fターム (25件)：

2G051AA32 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA23 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051ED21 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE06 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC16 ,  5B057DC36 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA22 ,  5L096JA11