特許

J-GLOBAL ID：200903013987746505

静電アクチュエータ、及びそれを用いた液体噴射装置

発明者： 北原 浩司 ,  丸山 博幸
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-121459
公開番号（公開出願番号）：特開2001-300421
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年10月30日
要約：

【要約】【課題】インクジェットヘッドにおいては、ヘッドの周囲の気圧によってインク吐出性能が変化し印字や画像表現が劣化するという問題があった。【解決手段】上記課題を解決するために本発明を適用した静電式のインクジェットヘッドは、インクノズルに連通した圧力室と、大気開放された大気圧室を備え、圧力室の底面には振動板が形成され、この振動板と電極の間に電圧を印加することにより、振動板が静電気力により振動して、インク液滴の吐出が行われる。振動室は圧力補償室に連通しており、圧力補償室の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板が形成されている。また、インクジェットヘッドのサイズを大きくせずにインク吐出特性を安定化させるために振動板のコンプライアンスを概ね5×10-19m5/N以下とした。その結果、広範囲な気圧においても安定した印字のできるインクジェットプリンタを実現した。

請求項（抜粋）：

振動板と、この振動板に対峙している電極板と、この電極板および前記振動板の間に形成された密閉室と、前記密閉室に連通し外気圧に応じて容積を増減可能な圧力補償室と、前記圧力補償室の一部が外気圧に応じて変位可能な変位板とを有する静電アクチュエータにおいて、前記振動板の厚さと前記変位板の厚さを概同一の厚さとすることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (6件)：

B06B 1/02 ,  B05B 1/14 ,  B05B 17/04 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H02N 1/00

FI (5件)：

B06B 1/02 K ,  B05B 1/14 Z ,  B05B 17/04 ,  H02N 1/00 ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (32件)：

2C057AF23 ,  2C057AF42 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AG93 ,  2C057AG99 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP28 ,  2C057AP31 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15 ,  4D074AA10 ,  4D074BB02 ,  4D074FF06 ,  4D074FF20 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA04 ,  4F033DA05 ,  4F033EA01 ,  4F033GA02 ,  4F033GA08 ,  4F033GA11 ,  4F033LA13 ,  4F033NA01 ,  5D107BB02 ,  5D107CC20 ,  5D107CD01