被搬送物の搬送制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八木田茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-082503
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306046
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】ウエハ等の被搬送物を所望の位置まで搬送する際に従来用いられていた機械的ストッパーによる停止位置制御に伴う問題点すなわち被搬送物と搬送装置との摺動及びそれに伴うダスト発生の問題を改善する。【構成】被搬送物10の位置を画像信号として検出するCCDセンサ8及びCCDセンサ8からの画像信号に基き搬送装置1の駆動系3-6を制御して被搬送物10を予定の位置に停止させるCCD制御装置9を有する。

請求項（抜粋）：

パルスモータによって駆動される搬送装置により被搬送物を第1の位置から第2の位置へ搬送する際に各位置における被搬送物の停止位置を制御できるようにした被搬送物の搬送制御装置において、第1の位置から第2の位置へのびる搬送装置の少なくとも一端に隣接して搬送装置上の被搬送物の搬送通路を挾んで光源とCCDセンサとを設け、CCDセンサからの被搬送物の検出信号に基いて被搬送物を予定の位置に位置させるように搬送装置の駆動パルスモータを制御するCCD制御装置を駆動パルスモータの駆動制御系に設けたことを特徴とする被搬送物の搬送制御装置。

IPC (4件)：

B65H 7/14 , B65H 5/02 , H01L 21/68 , B65H 9/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-177544
特開平1-132132
特開平2-177544

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