遮光層付き基板及びその製造方法及びカラーフィルタ基板及び液晶表示素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-174729
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024058
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】非クロム金属を用いマグネトロンスパッタ法で厚みが薄くても高い遮光性能を有する遮光層付き基板を得る。【解決手段】基板1側より遮光層2の第1層3がNiとNiのキュリー温度を低下させる添加物との合金の酸化物、第2層4がNiと該添加物との合金、第3層5がNiと該添加物との合金の酸化物とする。

請求項（抜粋）：

基板表面にニッケル(Ni)系の遮光層を形成する遮光層付き基板の製造方法において、遮光層がNiとNiのキュリー温度を低下させるのに有効な添加物とを主成分とする材料を用いてマグネトロンスパッタ法により形成されることを特徴とする遮光層付き基板の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1335 , G02B 5/20 101

FI (2件)：

G02F 1/1335 , G02B 5/20 101

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