特許
J-GLOBAL ID：200903014002185039
微粒子導入装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101073
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172750
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】微粒子導入効率が高いうえ信頼性も高い微粒子導入装置を提供する。【構成】第1ア-ムを介して第2ア-ム及び支柱に取り付けられ、前記第1ア-ムの先端に装着されたノズルプラグ本体がシール材を介してアスピレ-タの吸引口を把持することによって、吸引口とチャンバ-の連通を遮断するようにしたもの。
請求項（抜粋）：
マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生部に試料を供給する微粒子導入装置において、フィルタ上の微粒子を吸引して放電管に供給するアスピレ-タ(2)と、先端部にノズルプラグ(3)が装着された第1ア-ム(4)と、アスピレ-タの吸引口(2’)を介して該アスピレ-タと連通するチャンバ-(5)と、ボ-ルネジと固定軸とから構成される支柱(6)と、微粒子を採取したフィルタアセンブリを固定するフィルタホルダ(7)が先端に装着された第2ア-ム(8)と、前記フィルタホルダからのフィルタ取外時に使用する交換窓(9)とを具備し、前記第1ア-ムを介して前記第2ア-ムと前記支柱に取り付けられて前記第1ア-ムの先端に装着されたノズルプラグ本体(3a)がシール部材(3b)を介して前記アスピレ-タの吸引口を把持することによって該吸引口と前記チャンバ-の連通を遮断することを特徴とする微粒子導入装置。
IPC (2件)：
G01N 21/73
, G01N 1/00 101
