特許

J-GLOBAL ID：200903014017764388

送液ポンプ

発明者： 定方 孝之 ,  片桐 隆聡
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169466
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027043
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 液圧調整手段を組み込んだ送液ポンプに関し、液圧調整手段の配設工事及び配設スペースを不要にすると共に、吐出液の高純度化を図る。【構成】 本発明の第1の手段は、往復動する摺動軸22に固定されたダイヤフラム23,23 ′と、ダイヤフラム23,23 ′によって空気室27とポンプ室28に分割され摺動軸22の駆動によって空気室27とポンプ室28との容積比が変動するチャンバー室 26,26′と、ポンプ室28に連通し摺動軸22の駆動によって容積が拡張するときポンプ室28に吸入される液体が通過する逆止吸入弁31と、ポンプ室28に連通し摺動軸22の駆動によって容積が圧縮するポンプ室28から吐出される液体が通過する逆止吐出弁32と、ポンプ室28の容積変動に伴うポンプ室28の内圧の低下または増大によってベルジャー33が伸縮しその伸縮によって容積が変動する液圧調整手段35とを具える。

請求項（抜粋）：

往復動する摺動軸(22)に固定されたダイヤフラム(23,23′)と、該ダイヤフラムによって空気室(27)とポンプ室(28)に分割され該摺動軸の駆動によって該空気室とポンプ室との容積比が変動するチャンバー室(26,26′) と、該ポンプ室に連通し該摺動軸の駆動によって容積が拡張するとき該ポンプ室に吸入される液体(8) が通過する逆止吸入弁(31)と、該ポンプ室に連通し該摺動軸の駆動によって容積が圧縮する該ポンプ室から吐出される液体(8) が通過する逆止吐出弁(32)と、該ポンプ室の容積変動に伴う該ポンプ室の内圧の低下または増大によってベルジャー(33)が伸縮しその伸縮によって容積が変動する液圧調整手段(35)とを具えたこと、を特徴とする送液ポンプ。

IPC (2件)：

F04B 11/00 ,  F04B 43/06