特許

J-GLOBAL ID：200903014019336731

X線リソグラフィー用反射縮小結像光学系

発明者： 真島 清人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087635
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251097
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】簡易な構成にて十分な結像性能を得ることができるX線リソグラフィー用反射縮小結像光学系を提供する。【解決手段】物体M側から順に、第1の凹面鏡G4と、平面鏡G3と、凸面鏡G2と、第2の凹面鏡G1とを共軸に配置し、各凹面鏡G4、G1と凸面鏡G2とを非球面形状に形成し、凸面鏡G2を瞳面に配置し、且つ像W側にテレセントリックとなるように形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

物体側から順に、第1の凹面鏡と、平面鏡と、凸面鏡と、第2の凹面鏡とを共軸に配置し、前記各凹面鏡と凸面鏡とを非球面形状に形成し、前記凸面鏡を瞳面に配置し、且つ像側テレセントリックとなるように形成したX線リソグラフィー用反射縮小結像光学系。

IPC (5件)：

G21K 1/06 ,  G02B 17/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G21K 1/06 M ,  G02B 17/00 A ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 531 Z