特許
J-GLOBAL ID：200903014019811332
ホール素子を用いた微差圧センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-123959
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288028
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 複雑な気密保持機構を必要とせず、センサ自体をネジで容易にかつ精度良く調整することができ、かつ小型の調整手段とし、ダイヤフラムに対する磁石の取付を軽量で、かつ固定容易な手段により行うことができ、更に、センサに対する流体流路の接続に誤りを生じることがないようにしたホール素子を用いた微差圧センサを提供する。【解決手段】 ダイヤフラム2に磁石9を固定し、ダイヤフラム2の両側に作動室を形成するダイヤフラムケース3,4を設け、ダイヤフラムケース3,4の外側には一端が固定された弾性基板14をダイヤフラムケース3,4と略平行に配置し、磁石9と対向させてホール素子16を固定し、基板14の他端にネジ20を設け、ネジ20により基板14を弾性パッキン17の弾性力に抗してダイヤフラムケース側に押圧移動可能とし、該移動により磁石9とホール素子16の間隙調整をなしたものである。
請求項（抜粋）：
ダイヤフラムに磁石を固定し、ダイヤフラムの両側に作動室を形成するダイヤフラムケースを設け、ダイヤフラムケースの外側には一端が固定された弾性基板をダイヤフラムケースと略平行に配置し、前記磁石と対向させてホール素子を固定し、前記基板の他端にネジを設け、該ネジにより基板を弾性パッキンの弾性力に抗してダイヤフラムケース側に押圧移動可能とし、該移動により磁石とホール素子の間隙調整をなしたことを特徴とするホール素子を用いた微差圧センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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