特許

J-GLOBAL ID：200903014020291903

ディスク欠陥検査装置

発明者： 笹野 光彦 ,  山中 修
出願人/特許権者： パイオニアビデオ株式会社 ,  パイオニア株式会社
代理人 (1件)： 小橋 信淳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-359133
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182256
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 作業効率及び欠陥の検出精度の向上を図ること。【構成】 検査光をLVD30の外周端縁部からその内部に投射し、CCDカメラ50によってディスク基板31の表面を撮像し、その表面からの散乱光を受光して欠陥を判別するようにした。【効果】 欠陥の判断が容易となるため、作業効率及び欠陥の検出精度が向上する。

請求項（抜粋）：

一面側に情報に対応した信号が記録されている透明なディスク基板からなるディスクの欠陥を光学的に検査するためのディスク欠陥検査装置であって、前記ディスク基板の端縁部側からディスク基板内部に検査光を投射する検査光投射手段と、前記ディスク基板の表面から出射する散乱反射光を受光してディスクの欠陥を検知する欠陥検知手段とを具備することを特徴とするディスク欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G11B 7/26 ,  G01M 11/00 ,  G11B 7/00 ,  G11B 23/00