特許

J-GLOBAL ID：200903014023676792

露光装置用ステージ組立体

発明者： アレックス カー ティム プーン ,  ダグラス ワトソン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 川北 喜十郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-386833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228275
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 物体を移動させその位置決めを行うための露光装置用のステージ組立体(10)を提供する。【解決手段】 ステージ組立体(10)は微動及び粗動ステージ(14,18)を含む。微動ステージ(14)は物体(24)を保持するホルダ(15)を含む。ステージ組立体は粗動ステージに対して微動ステージを正確に移動させる微動Yムーバ(32)と微動Xムーバ(34)を含む。微動ムーバ(32,34)はホルダ(15)の片側だけにしか配置されない。この設計によって、ステージ組立体(10)は比較的軽量であり、比較的高いサーボ帯域幅とを有し、作業のために容易にアクセス可能である。ステージ組立体(10)はステージ・ベース(12)の歪みを最少化する反重力機構(40)と、粗動ステージ(18)から伝わる反力の量を減少させる反作用組立体(20)を含むこともできる。

請求項（抜粋）：

Y軸に沿って物体を移動させるステージ組立体において、(i)微動フレーム第1側部及びそれに対向する微動フレーム第2側部とを有する微動フレームと、(ii)物体を保持するためのホルダと、(iii)微動Yムーバの第1の部分であって微動フレーム第1側部と微動フレーム第2側部の間で微動フレームに固定される前記第1の部分とを備える微動ステージと;粗動フレームと、微動Yムーバの第2の部分であって、微動Yムーバの第1の部分と相互作用して、微動ステージをY軸に沿って粗動ステージに対して移動させる前記微動Yムーバの第2の部分とを備える粗動ステージと;を含むステージ組立体。

IPC (3件)：

G12B 5/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A