特許

J-GLOBAL ID：200903014023806246

静圧直動気体軸受

発明者： 佐藤 俊徳
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-251686
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103235
出願日： 1993年10月07日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【目的】加圧気体配管による可動体の位置決めの外乱や移動抵抗の変動を排除し、高精度の静圧直動気体軸受を提供する。【構成】固定体1の一方の軸受面1aが可動体2側の他方の軸受面2aに軸受すき間Sを介して対向し、可動体2に設けた通気孔3を介して軸受すき間Sに気体を噴出する静圧直動気体軸受において、可動体2の他方の軸受面2aに通気孔3に連通する凹部11を設け、固定体1に気体供給孔10を設けて凹部11に開口させた。固定体の気体供給孔10に加圧気体配管6を接続すれば凹部11から通気孔3を経て軸受すき間Sに気体を供給することができる。加圧気体配管6と可動体2とを切り離した結果、加圧気体配管6に起因する可動体2の位置決めの外乱や移動抵抗の変動が排除され、高精度が得られた。

請求項（抜粋）：

固定体に設けた一方の軸受面が可動体に設けた他方の軸受面に軸受すき間を介して対向し、前記可動体に設けた通気孔を介して軸受すき間に気体を噴出する静圧直動気体軸受において、前記可動体の他方の軸受面に軸方向溝状の凹部を設け、該凹部は通気孔に連通し、前記固定体に設けた気体供給孔は凹部に開口することを特徴とする静圧直動気体軸受。