特許

J-GLOBAL ID：200903014026859723

分析用切片試料の作製方法及び作製装置

発明者： 石崎 明美
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 山下 穣平 ,  志村 博 ,  永井 道雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-218851
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033312
出願日： 2005年07月28日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 多数の切片試料を、損傷や損失なく連続的に、しかも所定の姿勢で且つ所定の順序で容易に採取することが可能で、3次元構造分析の効率的実施を可能ならしめる分析用切片試料の作製方法及び作製装置を提供する。【解決手段】 分析対象物を含む固体Sを切削用ナイフ42で切削することにより順次形成された切片試料Eを、同等の姿勢で液体Lの自由表面上に順次供給する。蠕動ポンプ61により液体Lにその自由表面に沿って流れる液流F1〜F4を形成する。この液流に従って切片試料Eを液体自由表面上の移動経路にて移動させ、その際に、切片試料Eの移動経路の幅を切片試料Eの短径より大きく且つ最長径より小さく設定しておく。そして、移動経路を移動してきた切片試料Eを、捕集手段12により試料台Pの上表面に貼り付けて捕集する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

分析用切片試料の作製方法であって、 分析対象物を含む固体を切削して切片試料を形成し、 液流を形成し、 形成された切片試料を前記液流によって搬送し、 搬送された前記切片試料を試料台上に捕集する ことを特徴とする分析用切片試料の作製方法。

IPC (1件)：

G01N 1/06

FI (2件)：

G01N1/06 F ,  G01N1/06 G

Fターム (8件)：

2G052EC02 ,  2G052EC03 ,  2G052EC22 ,  2G052GA11 ,  2G052GA32 ,  2G052GA34 ,  2G052GA35 ,  2G052GA36

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公平7-97069号公報