特許
J-GLOBAL ID：200903014034061226
磁性薄膜インダクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-049393
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249408
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 GHzレベルの高周波領域で高いQ値を得るためには、強磁性共鳴周波数が高くかつ高い抵抗の磁性薄膜が必要であるが、従来用いられてきた磁性膜では抵抗と強磁性共鳴周波数の間にトレードオフの関係があり、特性向上には限界がある。【解決手段】 スパイラルコイルと、前記スパイラルコイルを覆う絶縁膜と、前記スパイラルコイルの少なくとも一方の側に絶縁膜を介して設けられた磁性膜層とを形成した磁性薄膜インダクタであって、前記磁性膜層が、強磁性金属と絶縁性化合物との混合膜、もしくは強磁性金属層と絶縁性化合物層とを交互に積層した積層膜とする。特に、前記積層膜を構成する前記強磁性金属を、コバルト合金もしくは鉄合金で、前記混合膜もしくは前記多層膜を構成する前記絶縁性化合物を、アルミまたはシリコンの酸化物、窒化物、炭化物、ほう化物で形成する。
請求項（抜粋）：
スパイラルコイルと、前記スパイラルコイルを覆う絶縁膜と、前記スパイラルコイルの少なくとも一方の側に前記絶縁膜を介して設けられた磁性膜層とを備えた磁性薄膜インダクタであって、前記磁性膜層が、強磁性金属と絶縁性化合物との混合膜、もしくは強磁性金属層と絶縁性化合物層とを交互に積層した積層膜からなることを特徴とする磁性薄膜インダクタ。
Fターム (3件)：
5E070AA01
, 5E070AB06
, 5E070CB12
