特許
J-GLOBAL ID:200903014036071717

キャリアハンドル

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 船橋 国則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-297915
公開番号(公開出願番号):特開平6-124993
出願日: 1992年10月09日
公開日(公表日): 1994年05月06日
要約:
【要約】【目的】 キャリアを簡単に保持できて、回転しても滑り落ちないキャリアハンドルを提供すること。【構成】 複数枚のウエハ11を収納するキャリア10を保持するキャリアハンドル1で、キャリア10に設けられた一対の上部凸片10aの下方に略平行な一対のアーム2をそれぞれ配置し、各アーム2を所定の間隔で支持棒3にて連結する。支持棒3の略中央部に握り柄31を設け、レバー41にて回転可能な回動軸42を支持棒3と略平行に設ける。回動軸42の回転で先端部がキャリア10の前面凸片10bを係止する係止棒4を回動軸42の両端にそれぞれ設ける。
請求項(抜粋):
複数枚のウエハを収納するキャリアを保持するためのキャリアハンドルにおいて、前記キャリアの上部側端に設けられた一対の上部凸片の下方にそれぞれ配置される略平行な一対のアームと、前記一対のアームを所定の間隔で連結し、その略中央部に握り柄が設けられた支持棒と、前記支持棒と略平行に設けられ、レバーにて回転可能な回動軸と、前記回動軸の両端にそれぞれ取り付けられ、該回動軸の回転によりその先端部が前記キャリアの前面側端に設けられた前面凸片を係止する係止棒とから成ることを特徴とするキャリアハンドル。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  B65G 49/07

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