特許

J-GLOBAL ID：200903014038600490

窒化物結晶及びその製造方法

発明者： 柴田 真佐知
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-240382
公開番号（公開出願番号）：特開2002-053397
出願日： 2000年08月03日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】【課題】 改質が容易で格子欠陥が少ない窒化物結晶及びその製造方法を提供する。【解決手段】 従来技術で得られたIII 族窒化物結晶に、少なくともIII 族金属を含む金属融液中で熱処理を施すという簡単な方法により、格子欠陥が少ない窒化物結晶が得られる。

請求項（抜粋）：

少なくともIII 族金属を含む金属融液中で熱処理が施されたことを特徴とする窒化物結晶。

IPC (2件)：

C30B 29/38 ,  H01L 21/208

FI (2件)：

C30B 29/38 D ,  H01L 21/208 D

Fターム (16件)：

4G077AA03 ,  4G077BE15 ,  4G077DB08 ,  4G077ED06 ,  4G077EF03 ,  4G077FE09 ,  4G077HA02 ,  5F053AA03 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053GG01 ,  5F053LL02 ,  5F053LL03 ,  5F053PP12 ,  5F053RR03 ,  5F053RR11