特許

J-GLOBAL ID：200903014046459080

圧電素子

発明者： 和田 隆亜 ,  倉島 玲伊 ,  赤池 正剛 ,  川崎 岳彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 金田 暢之 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-379465
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214275
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】圧電素子作製の際、大きな変位を得られるように厚みを制御可能で、膜はがれを起こさず、かつ作製歩留まりのよい振動板を備えた圧電素子を提供する。【解決手段】圧電性膜13と、この圧電性膜13の変位に依存して動作する振動板14とを備えた圧電素子であって、振動板14が、圧電性膜13を構成する全種類の元素を含み、かつ導電膜である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電性膜と、該圧電性膜の変位に依存して動作する振動板とを備えた圧電素子であって、 前記振動板が、前記圧電性膜を構成する全種類の元素を含み、かつ導電膜である圧電素子。

IPC (6件)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

FI (6件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 D ,  H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (12件)：

2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  2C057BA14