照明装置、露光装置、露光方法及びマイクロデバイスの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287411
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110706
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】装置自身を必要以上複雑化させることなく、複数の照明条件のもとでも被照射面での照明特性が変化を抑える。【解決手段】照明装置において、光源手段からの照明光に基づいて第1の光分布と該第1の光分布とは異なる第2の光分布との一方を所定の位置に形成する光分布可変手段と、該光分布可変手段からの照明光を被照明物体に導く導光系と、前記光源手段と前記被照明物体との間の光路中に配置されて前記被照明物体での照明特性を調整する調整手段とを配置し、前記調整手段は、前記第1の光分布により前記照明物体に形成される第1の照明特性を補正するための所定の第1の光学特性を有する第1の光分布補正部と、前記第2の光分布により前記照明物体に形成される第2の照明特性を補正するための所定の第2の光学特性を有する第2の光分布補正部とを有する構成とした。

請求項（抜粋）：

照明光を供給する光源手段と、該光源手段からの照明光に基づいて第1の光分布と該第1の光分布とは異なる第2の光分布との一方を所定の位置に形成する光分布可変手段と、該光分布可変手段からの照明光を被照明物体に導く導光系と、前記光源手段と前記被照明物体との間の光路中に配置されて前記被照明物体での照明特性を調整する調整手段を有し、前記調整手段は、前記第1の光分布により前記照明物体に形成される第1の照明特性を補正するための所定の第1の光学特性を有する第1の光分布補正部と、前記第2の光分布により前記照明物体に形成される第2の照明特性を補正するための所定の第2の光学特性を有する第2の光分布補正部とを有することを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 516 D

Fターム (11件)：

5F046BA03 , 5F046CA02 , 5F046CA04 , 5F046CB05 , 5F046CB08 , 5F046CB13 , 5F046CB23 , 5F046DA01 , 5F046DB01 , 5F046DC03 , 5F046DC12

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