特許

J-GLOBAL ID：200903014063825596

排ガスの燃焼除害方法及び装置

発明者： 菊池 ▲均▼ ,  市村 信二 ,  三宅 博之
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287560
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137537
出願日： 1992年10月26日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【目的】 半導体製造装置から排出される可燃性有害成分を含む排ガスを不活性ガスで希釈した後に燃焼装置に導入し、酸素を加えて燃焼させ、可燃性有害成分を分解して無害化するにあたり、燃焼用の酸素と希釈用の窒素を容易に得る。【構成】 上記燃焼用の酸素と希釈用の窒素とを、空気中の酸素と窒素とを分離する圧力変動式吸着分離装置(PSA)により得る。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置から排出される可燃性有害成分を含む排ガスを燃焼装置に導入して燃焼処理する排ガスの燃焼除害方法において、空気中の酸素と窒素とを分離する圧力変動式吸着分離装置により分離した酸素を前記燃焼装置に導入するとともに、該分離装置により分離した窒素を前記半導体製造装置の排ガス排出部に導入することを特徴とする排ガス燃焼除害方法。