特許
J-GLOBAL ID:200903014066922339

エレクトレットフィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-126548
公開番号(公開出願番号):特開平8-318114
出願日: 1995年05月25日
公開日(公表日): 1996年12月03日
要約:
【要約】【目的】 半導体、電子機器、薬品、生化学的物質等の製造雰囲気や、電子機器の内部雰囲気を清浄化するため等に用いるエレクトレットフィルタであって、粉塵に対する捕集率が高いものを提供する。【構成】 多孔質フッ素樹脂フィルムが所定枚重ね合わされており、そして、これら多孔質フィルムがエレクトレット化されているものである。
請求項(抜粋):
多孔質フッ素樹脂フィルムが所定枚重ね合わされており、且つ、これら多孔質フッ素樹脂フィルムがエレクトレット化されていることを特徴とするエレクトレットフィルタ。

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