特許

J-GLOBAL ID：200903014075889433

単結晶の引き上げ装置

発明者： 三村 和弘
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-295734
公開番号（公開出願番号）：特開2000-128687
出願日： 1998年10月16日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】シードチャックからの発塵を抑制し、単結晶の成長に悪影響を及ぼさないようにする。【解決手段】シードチャック4の表面に、係合部材3aの材料に対し、シードチャック4の材質よりも耐摩耗性のよい材料からなる被覆体20を設ける

請求項（抜粋）：

種子結晶の下にネック部、くびれ部を有する被係合部、結晶成長部を順次形成するようにした単結晶の引き上げ装置であって、前記種子結晶を保持する上下移動可能なシードチャックと、前記シードチャックおよび前記被係合部が通過可能な孔が形成される保持装置本体と、前記保持装置本体の前記孔を挟んだ回りに配設され、前記シードチャックおよび前記被係合部の表面に倣うようにその間隔を可変し、前記被係合部のくびれ部に係合する複数の係合部材とを有する上下移動可能な保持装置と、を具え、前記シードチャックに保持された種子結晶を融液に接触させてから引き上げることによって前記種子結晶の下方側にネック部、被係合部、結晶成長部を順次形成し、この後シードチャックの上方側に待機されていた保持装置を前記複数の係合部材が前記被係合部のくびれ部に係合されるまで下降させ、前記係合部材を前記くびれ部に係合させてからシードチャックおよび保持装置を上方に移動させて単結晶の引き上げを行うようにした単結晶の引き上げ装置において、前記シードチャックの前記係合部材が接触する面に、シードチャックの材質よりも前記係合部材に対して摩耗抵抗の大きな材料からなる被覆体を設けるようにしたことを特徴とする単結晶の引き上げ装置。

IPC (2件)：

C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 F

Fターム (7件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF00 ,  4G077ED01 ,  4G077EG12 ,  4G077EG25 ,  4G077HA12